環(huán)境真空掃描電鏡是一種結合掃描電子顯微鏡與環(huán)境控制技術的高分辨率顯微技術，能夠在較寬的環(huán)境條件下進行樣品的觀察和分析，特別適用于在傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡無法有效操作的樣品，如水分較多、有氣體揮發(fā)或是需要特定氣氛的樣品。
一、工作原理
環(huán)境真空掃描電鏡的核心原理與傳統(tǒng)SEM類似，都是通過掃描電子束與樣品表面相互作用產生信號，并通過這些信號獲取圖像。然而，最大的特點是在掃描過程中，樣品并不需要像傳統(tǒng)SEM一樣在高真空條件下操作，而是可以在一定的氣壓范圍內進行分析。為了實現(xiàn)這一點，它采用了一個具有特殊設計的環(huán)境控制系統(tǒng)，包括一個真空室和一個氣體注入系統(tǒng)。
1、電子束與樣品的相互作用：電子槍發(fā)射的電子束掃描樣品表面。當電子束與樣品相互作用時，會產生一系列的信號，包括二次電子、反射電子、特征X射線等。這些信號經過收集后用于生成圖像和分析樣品成分。
2、環(huán)境控制：優(yōu)勢在于它能夠在一定的壓力環(huán)境下工作。為了使電子束能夠有效穿透空氣并與樣品相互作用，樣品需要處于高真空環(huán)境。通過在樣品周圍引入可調的低壓氣體環(huán)境，電子束仍然能夠有效與樣品相互作用，這使得樣品在不需要過度處理的情況下，就能在顯微鏡中進行觀察。
3、水蒸氣的影響：水蒸氣等氣體的存在不會干擾圖像的獲取。由于低壓環(huán)境的特性，水蒸氣在這種情況下不會凝結成液滴或干擾電子束的路徑，確保了高分辨率圖像的獲取。
4、數(shù)據采集：通過在適當?shù)臍鈮汉蜐穸葪l件下操作，能夠收集樣品在不同環(huán)境條件下的圖像，進而獲得更多的樣品信息，如形態(tài)、表面結構、分布等。
二、技術優(yōu)勢
1、無樣品處理：環(huán)境真空掃描電鏡的優(yōu)勢之一是能夠直接在自然狀態(tài)下觀察樣品，無需進行高真空處理或樣品表面涂層。這對于那些容易受損或改變形態(tài)的樣品，尤其是生物樣品或濕潤的材料，極為重要。
2、廣泛的應用范圍：別適合用于觀察那些傳統(tǒng)SEM無法處理的濕潤樣品、氣體反應中的材料、合成過程中的化學反應等。此外，還可以用于觀察樣品在特定環(huán)境下的變化，比如溫度、濕度、壓力等條件對樣品表面或結構的影響。
3、實時動態(tài)觀測：由于它能夠在不同環(huán)境下操作，因此它不僅適用于靜態(tài)樣品的觀察，還能進行動態(tài)實時觀察。例如，可用于研究液體中的納米顆粒、氣體反應過程、濕度變化下的材料膨脹等現(xiàn)象。
隨著環(huán)境控制技術和電子顯微鏡技術的進一步發(fā)展，環(huán)境真空掃描電鏡的分辨率、穩(wěn)定性和多功能性將進一步提高，更多領域的應用將得到拓展，尤其是在生物醫(yī)學、納米技術以及材料科學等領域，將發(fā)揮更加重要的作用。
