雙束掃描電鏡（FIB-SEM）的工作原理是將聚焦離子束（Focused Ion Beam, FIB）和掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope, SEM）結(jié)合在一起，是一種集微區(qū)成像、加工、分析、操縱于一體的功能強(qiáng)大的綜合型分析與表征設(shè)備，具有成像和加工兩個(gè)系統(tǒng)。這種設(shè)備可以在SEM實(shí)時(shí)觀測(cè)下，使用FIB對(duì)樣品進(jìn)行微米至納米級(jí)別的精確加工。
雙束掃描電鏡在科研、工業(yè)等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用：
1、生命科學(xué)研究：利用雙束掃描電鏡對(duì)動(dòng)植物細(xì)胞、組織、微生物等進(jìn)行超微結(jié)構(gòu)觀察，研究細(xì)胞內(nèi)部結(jié)構(gòu)的變化和功能機(jī)制。
2、材料科學(xué)：用于研究各種材料的微觀結(jié)構(gòu)和性能，如金屬、陶瓷、復(fù)合材料等。通過(guò)離子束刻蝕和沉積技術(shù)，可以在材料表面進(jìn)行微納級(jí)別的加工和制備。
3、集成電路制造：在集成電路和芯片設(shè)計(jì)制造中，利用雙束掃描電鏡進(jìn)行高分辨實(shí)時(shí)觀察和微納尺度圖形的精細(xì)加工，實(shí)現(xiàn)電路修補(bǔ)、材料微納復(fù)雜圖形的加工和制備等。
4、環(huán)境監(jiān)測(cè)：用于分析土壤、水體等環(huán)境樣品中的微小顆粒、污染物等物質(zhì)的分布和形態(tài)。
5、地質(zhì)學(xué)：用于研究巖石、礦物、古生物等地質(zhì)樣品的微觀結(jié)構(gòu)和形成過(guò)程。
6、醫(yī)學(xué)領(lǐng)域：雙束掃描電鏡可以用于觀察細(xì)胞和組織的細(xì)微結(jié)構(gòu)，輔助疾病的診斷和治療。
