賽默飛電子顯微鏡引入全新的能譜分析概念，采用*方法進(jìn)行樣品成分信息的采集、處理和展示。傳統(tǒng)能譜會(huì)利用二次電子或背散射電子信息，卻不利用其圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，因而數(shù)據(jù)獲取速度較慢，而且圖像分辨率相對(duì)粗糙。相比而言，賽默飛顯微鏡采集數(shù)據(jù)所用的是同一掃描發(fā)生器，將掃描電鏡圖像與能譜圖像對(duì)中，因而圖像更加銳利，圖像噪音更少。此外，脈沖處理采用自適應(yīng)脈沖整形技術(shù)，確保各種條件下均能獲得可靠數(shù)據(jù)。元素分布圖通過(guò)定量算法形成，因此，所顯示的成分?jǐn)?shù)據(jù)可靠，且結(jié)果中不會(huì)出現(xiàn)重疊峰誤判等。專有的陰影檢測(cè)算法幫助確保信息來(lái)自于檢測(cè)到X射線的區(qū)域。
賽默飛電子顯微鏡啟用方便、快速，它依托先進(jìn)鏡筒技術(shù)，保持系統(tǒng)始終處于最佳狀態(tài)，可聚焦樣品采集數(shù)據(jù)，隨時(shí)提供高質(zhì)量圖像。系統(tǒng)同時(shí)集成了創(chuàng)新性的交互式用戶指南，幫助用戶充分利用系統(tǒng)的各項(xiàng)高級(jí)功能。能譜集成在用戶界面中，可輕松完成成分分析，從而大程度提高工作效率。集成*的實(shí)時(shí)定量能譜面分析功能，專為快速分析而設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單，新手用戶也可輕松操縱。
賽默飛電子顯微鏡采用全開(kāi)門式設(shè)計(jì)，系統(tǒng)耐用性和靈活性更高，可以加載大而重(重達(dá)10 kg)的樣品，從而節(jié)省樣品制備時(shí)間。顯微鏡各方面性能表現(xiàn)出色，可表征各種不同類型材料，提供信息。低真空模式下壓力可達(dá)150 Pa，能夠分析廣泛類型的樣品。在分析不導(dǎo)電樣品方面，低真空模式不僅可以消除荷電效應(yīng)，還可以增強(qiáng)材料襯度，并支持采用較大束流進(jìn)行成分分析。
