環(huán)掃電鏡是一種掃描電子顯微鏡，利用聚焦電子束掃描樣品的表面來(lái)產(chǎn)生樣品表面的圖像。最常見(jiàn)的掃描電鏡模式是檢測(cè)由電子束激發(fā)的原子發(fā)射的二次電子。可以檢測(cè)的二次電子的數(shù)量，取決于樣品測(cè)繪學(xué)形貌。
環(huán)掃電鏡常見(jiàn)分類(lèi)：
1.分析掃描電鏡:掃描電鏡配備X射線能譜儀EDS后發(fā)展成分析掃描電鏡，不僅比X射線波譜儀WDS分析速度快、靈敏度高、也可進(jìn)行定性和無(wú)標(biāo)樣定量分析。
2.場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡：場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡得到了很大的發(fā)展，不僅提高了常規(guī)加速電壓時(shí)的分辨本領(lǐng)，還顯著改善了低壓性能。
3.低壓掃描電鏡：低壓掃描電鏡LVSEM由于可以提高成像的反差，減少甚至消除試樣的充放電現(xiàn)象并減少輻照損傷，因此受到了人們的囑目。
環(huán)掃電鏡應(yīng)用領(lǐng)域：
1.顯微結(jié)構(gòu)的分析：由于掃描電子顯微鏡可用多種物理信號(hào)對(duì)樣品進(jìn)行綜合分析，并具有可以直接觀察較大試樣、放大倍數(shù)范圍寬和景深大等特點(diǎn)，當(dāng)陶瓷材料處于不同的外部條件和化學(xué)環(huán)境時(shí)，掃描電子顯微鏡在其微觀結(jié)構(gòu)分析研究方面同樣顯示出極大的優(yōu)勢(shì)。
2.納米尺寸的研究：高分辨率的掃描電子顯微鏡在納米級(jí)別材料的形貌觀察和尺寸檢測(cè)方面因具有簡(jiǎn)便、可操作性強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)被大量采用。
3.鐵電疇的觀測(cè)：掃描電子顯微鏡觀測(cè)電疇是通過(guò)對(duì)樣品表面預(yù)先進(jìn)行化學(xué)腐蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)的，可以將樣品表面預(yù)先進(jìn)行化學(xué)腐蝕后，利用掃描電子顯微鏡圖像中的黑白襯度來(lái)判斷不同取向的電疇結(jié)構(gòu)。對(duì)不同的鐵電晶體選擇合適的腐蝕劑種類(lèi)、濃度、腐蝕時(shí)間和溫度都能顯示良好的疇圖樣。
